復(fù)旦大學(xué)快速退火爐RTP完成驗(yàn)收

分類：新聞中心
發(fā)布時(shí)間：2020-09-23 14:51

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復(fù)旦大學(xué)快速退火爐RTP完成驗(yàn)收

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發(fā)布時(shí)間：2020-09-23 14:51

復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院從載德半導(dǎo)體技術(shù)有限公司采購(gòu)了兩臺(tái)RTP-100快速退火爐，一臺(tái)用于快速退火氧化工藝(RTO)，一臺(tái)用于快速退火還原工藝。兩臺(tái)快速退火爐均為德國(guó)UniTemp公司生產(chǎn)，放置在復(fù)旦大學(xué)張江校區(qū)，本月均通過(guò)了學(xué)校組織的驗(yàn)收，正式投入科研工作。

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